토토사이트 승인전화x 장치, ATV 장치
유기 EL 조명용 및 기능막 형성용으로 각종 증착 토토사이트 승인전화x 및 관련 기기를 제공합니다. 필름, 유리, 웨이퍼 등 각종 기재에 대응하고 있어, 실험기로부터 양산기까지, 클러스터 타입으로부터 롤 투 롤 타입까지 다종・다양한 요망에 대응합니다.
또한 대기에서 토토사이트 승인전화x으로 필름을 연속적으로 운반하는 ATV(Air to Vacuum) 장치도 갖추고 있습니다.
주요 서비스·제품
면 증발원
특징
최적의 노즐 배치와 밸브 제어를 통한 증착 속도 안정화로 고정막이면서 고면내 균일성과 고재료 이용 효율을 실현하고 있습니다.또한 3원까지의 공증착 및 경사막의 증착도 가능합니다.
- <주 사양>
- 최대 기판 크기 G6 기판(1,500×1,850mm)
- 막 두께 균일성 ≤±3% (±2%도 가능)
- 연속 최고 사용 온도 400℃
- 최대 탑재원수 3원(공증착 가능)
- 증착 속도 측정 QCM, 압력식 속도 센서
- 증착 속도 제어 도가니 온도 및 증착용 밸브 개도에 의한 제어
- 도가니 위치 토토사이트 승인전화x 챔버 외부에 배치
- 재료 충전 : 챔버를 대기 노출하지 않고 증착 재료 교체 가능
- <실용 예>
- 클러스터식 유기 EL 조명용 유기막 증발원
노즐형 선형 소스
특징
면 증발원 개발에서 축적한 기술을 기반으로 제품화했습니다. 설계의 자유도도 높고, 증착 방향도 선택하지 않습니다. 액체 재료의 용매 비행 메커니즘도 추가할 수 있습니다.
- <주 사양>
- 최대 기판 폭 2,000mm
- 폭 방향 막 두께 균일성 ≤±3%
- 연속 최고 사용 온도 400℃
- 최대 탑재원수 3원(공증착 가능)
- 증착 속도 측정 QCM, 압력식 속도 센서
- 증착 속도 제어 도가니 온도 및 증착용 밸브 개도에 의한 제어
- 도가니 위치 토토사이트 승인전화x 챔버 외부에 배치
- 재료 충전 도가니 재료 전환 기구(옵션)
- <실용 예>
- 인라인 토토사이트 승인전화x용 증발원
- 롤 투 롤 필름 형성용 증발원
손상되지 않은 EB 증발원
특징
유기 소자의 유기 막 위에 금속 및 무기 재료를 증착하는 증발원입니다. 저 X선량화와 독자적인 반사 전자 트랩 기구를 채용해, 도가니의 단열화에 의해, 저온에서의 고속의 성막이 가능합니다. 기존의 저항 가열과 동등한 레벨의 소자 특성을 얻을 수 있습니다.또한 재료의 자동 공급 메커니즘을 결합하여 100시간의 연속 증착이 가능합니다.
- <실용 예>
- 클러스터식 유기 EL 토토사이트 승인전화x용 금속막 증발원
- 롤 투 롤 필름 형성용 증발원
로터리 캐소드
특징
높은 재료 이용 효율로 타겟 교체 빈도를 줄일 수 있으며, 높은 냉각 효과로 인해 빠른 성막도 가능합니다.
- 토토사이트 승인전화x 씰 강화로 긴 수명화(1→5년)
- 고속 스퍼터링에 필요한 냉각수 대 유량화 실현(100ℓ/min)
- 엔드 블록은 자사 설계, 자석도 자사 설계·자사 계측
- <실용 예>
- 롤 투 롤 필름 증착용 음극
ATV(Air to Vacuum) 기기
특징
독자적으로 개발된 ATV 메커니즘은 대기에서 토토사이트 승인전화x으로 필름을 연속적으로 운반합니다. (다른 토토사이트 승인전화x 영역의 차압 제어에도 사용할 수 있습니다.) 본 기구에 의해, 토토사이트 승인전화x 장치의 고가동률을 유지해, 생산성 향상에 크게 기여합니다.
| 설계 사양(별도 상담) | 실험기 사양 | |
|---|---|---|
| 반송 속도웹 속도 | MAX 30m/min | 0.5~10m/min |
| 필름 폭Film width | MAX 2,000mm | 300~500mm |
| 기재 두께Film thickness | MAX 200μm | 25µm~200µm |
관련 기술
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