FA·필름 제조 가공 설비, 정밀 주조품

토토사이트 w 방지막·방오막 성막 장치

독자 설계의 스퍼터 캐소드와 유기 EL 성막 장치 개발에서 축적한 진공 증착법을 조합하여 토토사이트 w 방지층으로부터 방오층의 형성까지 동일 장치 내에서 일관 성막이 가능하여 생산 효율을 최대한 높일 수 있는 장치를 제공합니다.

※토토사이트 w 방지막(AR막: Anti-Reflection) 빛의 토토사이트 w나 토토사이트 w 방지를 목적으로 한 코팅.
※토토사이트 w막(AFP 막: Anti-Finger Print) 지문의 부착 방지, 부착된 지문의 닦아 용이화를 목적으로 한 코팅. (일반적으로 AR 막 위에 코팅)

터치 패널을 탑재한 디스플레이의 최표면에는 지문이나 얼룩이 붙기 어렵고, 쉽게 닦아내고, 자주 조작을 해도, 손상되기 어려운 특성이 요구되고 있습니다. 종래의 습식 코팅법에서는 이러한 성능을 충분히 채우는 것이 곤란했습니다만, 당사의 진공 증착법으로 형성하는 최표면(토토사이트 w층)은, 높은 접동 내구성으로 토토사이트 w 기능을 길게 유지할 수 있습니다. 또한 롤 to 롤 프로세스는 높은 생산성을 유지할 수 있습니다.

주요 서비스·제품

Kanadevia AR 막 예

Kanadevia AFP 막 예

※성막 샘플도 제공합니다. 아래 문의에서 연락을 부탁드립니다.

HARD-F 시리즈

특징

AR 및 AFP 막을 플렉시블 기판에 연속적으로 성막하는 토토사이트 w입니다.

스퍼터와 진공 증착이 다른 진공도의 프로세스를 차압 조정 기구를 마련함으로써 연속 성막이 가능.
AR막은, 독자 설계의 로터리 캐소드를 채용하는 것으로, 장시간 운전 또한 고출력 성막이 가능.
AFP막은, 독자 설계의 노즐형 리니어 소스를 채용하는 것으로, 고재료 이용 효율로 고막 두께 균일성 성막이 가능.
AFP 멤브레인은 자체 설계의 밸브 메커니즘을 채택하여 1) 증착 속도 안정성 유지, 2) 비증착 시 폐쇄 가능, 3) 증착 중 재료 교환이 가능, 4) 액체 재료의 증착이 가능.

제품 이름	HARD-F Series
형식	HF-300	HF-600	HF-1200	HF-1600	HF-2000
대응 필름 폭	300mm	600mm	1,200mm	1,600mm	2,000mm
필름 이송 속도	0.5m~20m/분
필름 전처리	플라즈마 세척
탑재 스퍼터 소스	로터리 캐소드, 듀얼 캐소드
탑재 증발원	노즐형 선형 소스
스퍼터/증착 간 압력 제어	차압 제어식

또한, 토토사이트 w 전후에 ATV 기구를 붙이는 것으로, 원반 필름의 교환시에 토토사이트 w를 멈추지 않고 연속 가동이 가능해져, 생산성의 향상에 기여합니다.

HARD-G 시리즈

특징

세로형 회전 드럼식을 채용해, 유리 기판이나 플라스틱 기판에 AR막과 AFP막을 진공 일관으로 성막하는 토토사이트 w입니다.

HARD-F 시리즈와 공통 기술의 스퍼터 소스와 증발 소스를 탑재하고 있습니다.
긴 기판 및 곡면 기판 등 다양한 기판에 대응이 가능.
넓은 파장 영역의 성막에 대응해, 소량, 다품종의 유연한 생산이 가능.
옵션으로서 로드록 기구 및 기판 자동 세트도 탑재가 가능.

제품 이름	HARD-G Series
형식	HG-800	HG-1400	HG-1800
최대 기판 길이(mm)※	800	1,400	1,800
대응 기재	필름, 유리
드럼 회전 속도	~100rpm
탑재 스퍼터 소스	로터리 캐소드, 듀얼 캐소드
탑재된 스퍼터 소스 수	2~4원
후산화 단위	있음
탑재 기상 증착	노즐형 선형 소스

※기판 폭은 드럼 직경의 광경화로 400mm까지 대응 가능.